双重加热论文

双重加热法合成碳化硅晶片的研究
论文摘要碳化硅晶片具有晶相完整性好、缺陷少、对环境污染小等特点,是理想的碳化硅晶须替代材料。目前碳化硅晶片的生产主要采用常规加热设备,但存在能耗大、成本高、产率低等问题。本文在...