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基于双重驱动技术的三维纳米定位系统的研制
论文摘要随着科学技术的发展,航天技术、微电子工程、计量科学与技术、光学与光电子工程、精密工程、生物工程、纳米科学与技术等领域迫切需要纳米定位技术。纳米定位技术己成为前沿科学、工...
精密并联定位平台性能优化与构型综合
论文摘要能实现微米级,甚至亚微米、纳米级定位精度的定位平台,在微装配、新型纳米材料性能检测等领域有着广泛的应用。本文以4自由度精密并联定位平台的性能优化及精密并联定位平台新构型...