梳齿驱动论文

MEMS光开关的建模与仿真
论文摘要随着互联网的发展,对传输速度与带宽提出了更高的要求,传统的机械光开关难以适应高速、大容量光传送网发展的需求,新型的以MEMS为基础的微机械光开关以其具有体积小、易于集成...