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高g微阵列加速度传感器中的热设计研究
论文摘要电子设备的热设计一直是影响系统可靠性的重要因素。随着微机电系统制造工艺的成熟,电子产品的微型化速度加快,集成度越来越高。而产品的功耗却比以前更大,使得电子设备的热流密度...