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多热源多向流合成电工碳化硅的中试实验研究
论文摘要目前,工业生产电工SiC的方法只有Acheson法。该法经过一百多年的不断完善和发展,技术已经相当成熟。但以Acheson法生产的电工SiC能耗高、产量低、质量差,生产...