梳状硅微静电谐振器论文

横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究
论文摘要横向梳状硅微静电谐振器是最早开发和使用的微型机电系统（MEMS）元器件之一，它既可作为能量转换装置，实现电能和机械能的转换，又可成为执行机构，担负系统信息的响应功能。本...