数字光刻论文

实时动态数字光刻技术制作微透镜阵列的研究
论文摘要随着微结构光学的发展，微结构光学器件正向微型化、阵列化、集成化方向发展。微细加工技术的不断提高和改进，器件尺寸也越来越小，为微结构光学阵列发展创造了条件。由于微透镜阵列...
数字全息检测及其控制系统研究
论文摘要数字全息检测是激光无损检测技术的一个重要方法,其记录、存储和再现过程全部采用数字化的方式。在形貌测量、微电路检测、微小粒子检测、应力场检测、生物细胞观测、变形和振动测量...