数字全息测量术论文

微结构表面三维形貌测量的数字全息方法研究
论文摘要微结构物体的广泛应用,需要高精度、无损快捷的测量手段对其表面形貌信息进行测量。数字全息作为一种新的全息成像技术,结合传统光学全息与计算机后期数字图像处理,可以在微结构物...