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激光自准直中的数字滤波技术研究
论文摘要利用激光光束直线基准进行自准直角度测量具有测量精度高、测量距离远等优点。在实际应用中,激光光束用于高精度自准直小角度测量时,却由于光束的漂移使角度测量的精度及稳定性难以...
基于数字滤波技术的直线电机伺服控制系统设计
论文摘要激光直写设备作为衍射光学元件的重要加工设备,其加工精度决定了二元衍射光学器件的成像质量。随着光学技术的飞速发展,研究具有高精度的激光直写设备至关重要,同时又能推进超精密...