随机缺陷论文

集成电路设计中针对随机缺陷的成品率研究
论文摘要半导体制造是一个复杂的过程,尤其进入纳米技术节点后,工艺步骤越来越多,其中每一步工艺都有可能引入随机缺陷,造成电路故障,引起成品率问题。集成电路的成品率是决定半导体产业...