碳氮复合材料论文

氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用
论文摘要氮化物由于其在各个领域（如半导体，环境，能源等方面）都展现出其优良的特性和广阔的应用前景，一直以来都是重要的研究对象。本文研制了高解离度的空心阴极放电氮离子束源并应用于...