碳化硅抛光片论文

SiC单晶抛光片的制备与表征
论文摘要由于SiC单晶材料的硬度及脆性大,且化学稳定性好,故如何获得超平滑无损伤晶片表面已成为其广泛应用所必须解决的重要问题。为此,研究SiC单晶抛光片的加工技术和表面质量的表...