碳微纳机电系统论文

论文摘要微纳制造技术作为微纳结构和器件的重要制造工具,近年来随着微纳技术的发展和新材料的不断涌现得到了快速的发展。体硅加工技术的发展造就了微纳机电系统（MEM/NEMS）的出现...