陶瓷微反应器论文

论文摘要目前,在微细加工技术中常使用的材料有单晶硅、金属和有机化合物等,但是这些材料加工所得到的微结构在某些高温、强腐蚀环境中却无法使用。陶瓷材料,尤其是氧化铝陶瓷材料,具有耐...