铁电薄膜材料论文

PZT薄膜界面“钝化”层电容测试方法的研究
论文摘要铁电存储器以其优越的存储特性得到了广泛的关注,其中应用和研究最为广泛的铁电材料是锆钛酸铅Pb(Zr1-xTix)O3（简称PZT）。PZT具有较低的处理温度（最低结晶温...