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铁电电容的性能测试方法和建模方法研究
论文题目:铁电电容的性能测试方法和建模方法研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:陈小明导师:汤庭鳌关键词:铁电电容,模型,参数,测试,电路,电滞回线的开口,...
王健健:Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究论文
本文主要研究内容作者王健健,白华,许高博,李梅,毕津顺(2019)在《Hf0.5Zr0.5O2基铁电电容器的特性研究》一文中研究指出:利用原子层淀积工艺制备了9nm厚的铪锆氧(...