体硅工艺论文

MEMS-DMs设计与工艺技术研究
论文摘要本论文设计的项目主要从校正光线穿过大气、光学设备时产生的波前畸变出发,分析自适应光学校正方法,提出自适应光学波前校正系统中的核心执行器件DMs的设计结构和制造方法。随着...