铜薄膜论文

硅/二氧化硅表面自组装单分子膜的性质、制备及应用研究
论文摘要由于在非均相催化、生物传感、微机电和微电子等领域的广阔应用前景,自组装单分子膜（SAMs）成为近年来的研究热点。其中,有机硅烷类SAMs可以吸附在羟基化的基材表面,用作...
飞秒激光作用下铜薄膜的超快动力学研究
论文摘要铜薄膜在微机电系统和磁性多层膜结构中有着广泛的应用,对铜薄膜内部超快动力学的研究显得十分必要,这能为各种磁微器件的设计提供重要依据。飞秒激光由于具有脉冲宽度超短和能量密...
电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究
论文摘要铜电沉积技术由于其经济性、选择性及优良的深镀能力,在机械制造及微电子工业中得到广泛应用。特别是随着超大规模集成电路中铜互连技术的发展,对铜薄膜组织结构的研究日益受到关注...