铜互连线论文

趋肤效应对集成电路铜互连线可靠性设计影响的理论研究
论文摘要随着集成电路中信号频率的不断升高以及多层互连结构散热条件的恶化，传输脉冲或者交流信号互连线的可靠性问题也越来越突出。当频率超过一定的临界值，高频信号在金属互连线上将发生...