同位素微电池论文

MEMS同位素微电池能量转换建模及性能分析
论文摘要随着MEMS技术的不断发展和进步，人们希望将各种微器件与能源部件集成在一起，形成一个具有独立工作能力、能长时间稳定工作的微系统，这就需要研究与MEMS工艺兼容、易于集成...