同心圆光栅论文

双同心圆光栅二维平面位移测量术
论文摘要测量技术与国民经济的各个部门、科学技术各个领域的发展都有着十分密切的联系。高精度的平面位移测量一直是精密测量领域研究的热点。现代科学技术的飞速发展，特别是信息技术、ME...