铜牺牲层论文

新型电热微驱动器的研究
论文摘要随着电子产品的小型化和系统功能的集成化,微型驱动器获得了巨大的市场潜力并拥有广阔的应用前景。众多微驱动器中,电热微驱动器具有体积小、结构相对简单、加工工艺稳定以及成本低...