同质外延论文
![MPCVD法制备多晶和单晶金刚石及性质研究]()
MPCVD法制备多晶和单晶金刚石及性质研究
论文摘要本文采用MPCVD（MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition）方法,制备多晶金刚石膜和单晶金刚石。在硅衬底上沉积高质量的自支撑透明金...![4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究]()
4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究
论文摘要SiC器件和其它半导体器件一样,材料的质量对于SiC器件的制备和性能具有非常重要的意义。高质量的SiC单晶是制备高性能SiC器件的基础,有利于SiC器件研制和进一步推广...![MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶]()
MPCVD法制备光学级多晶金刚石膜及同质外延金刚石单晶
论文摘要本文采用MPCVD(MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition)方法,在硅衬底上沉积多晶金刚石薄膜,通过优化生长条件,成功的制备了直径...![ABO3型钙钛矿薄膜生长动力学的理论与实验研究]()
ABO3型钙钛矿薄膜生长动力学的理论与实验研究
论文题目:ABO3型钙钛矿薄膜生长动力学的理论与实验研究论文类型:博士论文论文专业:材料物理与化学作者:于光龙导师:肖定全关键词:结构,钙钛矿薄膜,生长动力学,多元氧化物,生长...
