铜阻挡层论文

大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺的优化研究
论文摘要为了实现A公司“提高产能降低成本”的目标,本文通过实验试图发现一种大规模生产中可以在沉积Si3N4薄膜工艺上取代HDP-CVD（HighDensityPlasmaChe...