• 磁控溅射TiN及ZrN薄膜的特性研究

    磁控溅射TiN及ZrN薄膜的特性研究

    论文题目:磁控溅射TiN及ZrN薄膜的特性研究论文类型:硕士论文论文专业:材料学作者:徐成俊导师:黄佳木关键词:磁控溅射,氮化钛,薄膜,透明氮化锆薄膜文献来源:重庆大学发表年度...