透明导电氧化论文

外延Pb(Zr0.52Ti0.48)O3单晶薄膜的制备与性能研究
论文摘要铁电薄膜由于其物理机制和潜在的在各种微电子器件如非挥发性动态随机存贮器和铁电场效应管上的应用,受到了很多的关注,为了减少位错并保持器件的优异性能,在铁电器件制备中使用和...