投影光刻物镜论文

投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究
论文摘要随着大规模集成电路制造水平的发展，光刻机的地位日益突出。投影光刻物镜系统是光刻机的核心部分，为完成具有高NA、大视场投影光刻物镜的研制，对系统使用的光学元件的面形精度要...