椭偏论文

利用刻蚀和椭偏技术研究离子注入铌酸锂晶体的波导特性
论文摘要光波导是利用光在折射率不同的两种介质分界面上发生全反射的原理,将光波限制在微米量级的透明材料中传输的导行结构。光波导是集成光学的基本单元,是光波耦合器、波导调制器、波导...