椭圆匹配论文

正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究
论文摘要在纳米精密定位和位移监测领域中,激光干涉技术是应用最为广泛的一种非接触式精密测量技术,它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线测量、误差修正和控制,因此在精密测...