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基于显微视觉的微操作系统及其伺服控制研究
论文摘要由于MEMS(微机电系统)、生物医学工程、精密光学工程和超精密加工等领域的快速发展,迫切需要能够实现微米级、甚至纳米级精密定位系统,各种大行程精密定位系统应运而生。上世...