微板论文

微板多物理场耦合非线性动力学研究
论文摘要静电驱动是微机电产品中广泛使用的驱动方式,微板是MEMS产品设计中一种典型的结构元件。静电驱动MEMS器件在工作中存在静电场力与微构件机械振动之间的机电耦合及机电流体耦...
微板机电耦合动力学研究
论文摘要微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题也是微机电系统设计中不可回避的多物理场耦合问题,...