微笔直写论文

激光熔覆制备SnO2微气敏传感器的研究
论文摘要随着气敏传感器件向微型化、集成化和高性能化方向发展,对其制备技术提出了更高的要求。目前,微气敏传感器的制备主要利用光刻、溅射、掺杂等薄膜工艺来完成,工艺复杂、条件苛刻、...