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王瑶瑶:基于同轴腔体的微波等离子体技术研究论文
本文主要研究内容作者王瑶瑶(2019)在《基于同轴腔体的微波等离子体技术研究》一文中研究指出:微波等离子体因粒子活性大、温度低、密度高和体积大等优点,且容易控制,具有广泛的应用...