论文摘要随着钛工业的持续发展、钛资源需求的不断提高以及天然金红石的日益衰竭使得钛铁矿资源逐步取代天然金红石,成为钛工业生产的最大自然资源。传统钛铁矿加工工艺中,不可避免地产生“...
论文摘要本研究采用微波等离子体化学气相沉积方法以及He-N2-BF3-H2的混合气源系统在(100)取向的Si片上沉积出了高质量的六方氮化硼(hBN)薄膜。系统地研究了各种参数...
论文摘要近年来,微波等离子体技术越来越受到人们的关注,微波等离子体具有电离度高、电子密度高、工作气压范围宽以及无电极污染等优点,在化学气相沉积,等离子体表面处理技术,刻蚀技术,...
论文摘要硅碳氮(SiCN)薄膜是一种新型的三元功能薄膜材料,因其高硬度、宽光学带隙、良好的高温抗氧化性能及抗腐蚀性能等诸多优点,在微电子半导体和计算机产业等领域具有广阔的应用前...
论文摘要始于上世纪八十年代末的纳米研究热潮近二十年来取得了迅猛的发展,席卷材料、信息、绿色制造、生物和医学等领域,被认为将来可能对国家核心竞争力的提升起到重要推进作用。作为纳米...
论文摘要SO2是主要的大气污染物之一,目前以湿法脱硫为主的工艺存在投资和操作费用大,产生二次污染等诸多缺点。采用直接催化还原SO2为单质硫的工艺过程不仅可以消除SO2污染,而且...
论文摘要准一维纳米材料,如纳米管、纳米线、纳米带等,以其特殊的物理和化学性质,以及在纳米器件、光电子器件、微传感器等多方面潜在的应用前景,已成为纳米科技研究的热点。目前国内外对...
论文摘要针对印染废水难降解的特点和传统内电解法的不足,提出用微波等离子体强化内电解法处理印染废水。本文采用微波等离子体强化内电解法处理分散艳蓝E-4R模拟染料废水,研究了微波强...
论文题目:微波等离子体偶联甲烷制C2烃的研究论文类型:硕士论文论文专业:物理电子学作者:张钦导师:杨鸿生关键词:微波等离子体,甲烷,转化率,选择性,积碳,长时间文献来源:东南大...
论文题目:自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究论文类型:硕士论文论文专业:光学工程作者:梁继然导师:常明关键词:金刚石膜,拉曼光谱,微波等离子体,光学级金刚石膜文献来源:天...