微波等离子体源论文

本文主要研究内容作者苏卫中,禹庆荣,杨彬,陈国钦（2019）在《微波等离子体激发用大功率微波模式转换器》一文中研究指出：设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用...