微波功率薄膜电阻器论文

TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究
论文摘要作为射频与微波系统的重要组件—微波功率薄膜电阻器可广泛应用于雷达、通讯、电子对抗等领域。本文主要开展了三个方面的工作:材料方面,采用反应直流磁控溅射技术制备TaN薄膜材...