微波功率电阻器论文

TaN微波功率薄膜电阻器的制备及性能研究
论文摘要TaN薄膜具有宽电阻率、低电阻温度系数以及自钝化特性而被广泛应用于微波功率电阻器中。本文采用反应磁控溅射法制备TaN薄膜,研究了溅射时间,溅射气压,溅射氮分压,热处理温...