微电感论文

RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
论文摘要随着无线通信系统向小型化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高频方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和小型化,导致现有的无线通信系统体积庞大、成本高、...