微电容论文

MEMS微电容传感器检测电路的研制
论文摘要微电容式传感器技术作为微机电系统研究和制造领域一个重要的分支,近年来在微型化、多功能化、智能化得到迅猛发展。微电容式传感器中以微机械压力、加速度计最具代表性,它具有体积...
刘天涯：水下探测微电容超声波换能器线阵设计与封装论文
本文主要研究内容作者刘天涯,段焜（2019）在《水下探测微电容超声波换能器线阵设计与封装》一文中研究指出：本文主要是针对微电容超声波换能器在水下的应用需求,对阵列水下封装的方法...