![若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究]()
论文摘要随着MEMS传感器芯片在物理、化学、生物和医学等方面的广泛应用,相应的微加工工艺成为当前微系统技术的一个研究热点。MEMS微加工技术涉及微电子、材料、物理（力学及流体力...
![粉末溶胶法制备Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15陶瓷厚膜及铁电性能的研究]()
论文摘要铋层状钙钛矿结构的铁电材料具有高的剩余极化、低得矫顽场强以及高的居里温度、低的介电损耗等优点,因而其在非挥发性铁电随机存储器（NVFRAM）和高温高频压电器件方面具有广...
![微小型MEMS陀螺的误差特性研究]()
论文摘要MEMS（MicroElectroMechanicalSystem）陀螺尺寸小、重量轻、可靠性高,在军事和民用等领域展现出广阔的应用前景。但是限于性能,MEMS陀螺主要...
![单晶硅纳米结构的TEM内原位拉伸实验研究]()
论文摘要单晶硅材料一直是微电子、微电子机械系统产业中主要的结构、功能材料,随着科技的发展,结构的特征尺寸逐渐减小进入纳米量级（1nm-100nm）,了解硅材料结构在纳米尺度下的...
![基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究]()
论文摘要自从20世纪80年代以来，原子力显微镜（AtomicForceMicroscope，AFM）已成为表征材料微区表面形貌的有力研究工具。对力敏感的易弯曲的悬臂梁上的针尖对...
![基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究]()
论文摘要硅纳米线由于特殊的物理性质和潜在的应用前景而越来越受到人们的重视。其较高的比表面积非常适合制作各种传感器，其特殊的机械特性也引发了人们制作纳米谐振器的兴趣。为实现纳米线...
![微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析]()
论文摘要研究微尺度热特性既是热科学向纵深发展的必然,也是提高微纳器件性能的关键因素之一。本文研究微纳器件中薄膜的比热性质,内容包括研制用于薄膜热容测量的微型量热计、构建脉冲量热...
![微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究]()
论文摘要本论文对微电子机械系统力学性能及尺寸效应等若干重要问题进行了深入系统的理论研究。微电子机械系统是日益发展的多学科交叉技术,其研究内容主要是微米量级的微机械和微装配的加工...
![申玮：高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器论文]()
本文主要研究内容作者申玮,张文君,廉宇琦,张国军,杨华,薛晨阳,王任鑫（2019）在《高分辨率MEMS纤毛式湍流传感器》一文中研究指出：国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在...
![刘乃鹏：钻杆振动频率检测系统的研制与应用论文]()
本文主要研究内容作者刘乃鹏,胡郁乐,汪伟（2019）在《钻杆振动频率检测系统的研制与应用》一文中研究指出：在钻进过程中,当钻杆的固有频率与外部激励频率一致时,会产生共振现象。共...
