微电子系统论文

MEMS微结构动力学性能研究
论文摘要随着人类社会和科学技术的不断进步,人们对于机械系统的要求也越来越高,般的机械系统已经无法满足人类的需求。这就要求机械系统向小型化微型化方向发展。微电子机械系统(Micr...