微定位工作台论文

一种六自由度微定位工作台位姿控制新方法研究
论文摘要本文研究了一种在四层平板之间并列分布多个压电陶瓷驱动器,通过控制压电驱动器产生微驱动,最终实现六自由度微定位的新方法。本文的主要研究工作包括:①在分析研究国内外现有微定...