微定位论文

论文题目:大行程压电微动台驱动控制系统的研究论文类型:硕士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:温丽梅导师:赵美蓉关键词:压电陶瓷,驱动电源,微驱动,微定位,尺蠖运动文献来源:...