微定位平台论文

宏/微定位平台控制系统设计
论文摘要本文密切结合中国博士后基金项目——金凸点剪切断丝高速共面的非线性控制方法研究,以哈尔滨工业大学机器人研究所开发的高速度高精度宏/微定位平台为研究对象,利用系统辨识、现代...
纳米级微定位平台的设计及实验研究
论文题目:纳米级微定位平台的设计及实验研究论文类型:硕士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:杨立斌导师:张大卫关键词:微定位平台,超精密磨削,动力学建模,压电陶瓷驱动器,有限...