微动并联机器人论文

高精度3-PPSR微动并联机器人的研究
论文摘要在过去的十多年中,微纳操作技术得到了飞速的发展,微纳操作系统在MEMS制造、光学调整、光纤作业、激光制导等领域得到了广泛的应用。微动机器人是微纳操作系统的重要组成部分,...