微动定位平台论文

压电驱动微动定位平台系统设计与开发
论文摘要微定位技术是精密加工、精密测量、精密工程等微观领域中的关键技术,微动定位平台是精密定位技术中的一项重要载体。本文结合浙江省自然科学基金项目“基于压电的纳米级工作台系统智...