微动机器人论文

4-RPUR柔性微动并联机器人的性能分析与研究
论文摘要在过去的十年中,微动机器人得到了飞速的发展,微动机器人运动精细,可达亚微米甚至纳米级的定位精度,在MEMS制造、光学调整、光纤作业、激光制导、生物医疗、IC制造等领域得...