微封装论文

应用于聚合物微器件封装的超声波键合系统
论文摘要随着MEMS技术的发展,聚合物材料被广泛的运用于微型器件制造。聚合物材料具有生物相容性的优点,而且聚合物种类繁多,价格低廉。聚合物微器件通过微注塑等方法批量生产。目前聚...