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电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究
论文摘要微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件,在微装配、微操作等方面扮演着重要的角色。研究和开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳,是实现微系统科学实验与产业化的一个关键环...