微构件论文

MEMS微构件动态特性测试激励装置特性研究
论文摘要MEMS微构件动态特性测试技术，主要包括振动激励、振动测试和模态分析三个方面，激励是实现动态特性测试的基本环节。通过查阅文献，综述了目前应用于MEMS微构件动态特性测试...